Боюсь, вы должны сделать это в две строки:
<ExcludeFromBuild Include="$(SourceWebPhysicalPath)\ImageCache\**\*.*" />
<IncludeFromBuild Include="$(SourceWebPhysicalPath)\ImageCache\" />
Но это не могло сработать, потому что The "Copy" task does not support copying directories
.Таким образом, я предлагаю вам исключить файлы, как вы сделали, и создать пустой каталог в цели AfterMerge:
<ItemGroup>
<ExcludeFromBuild Include="$(SourceWebPhysicalPath)\ImageCache\**\*.*" />
<ItemGroup>
<...>
<Target Name="AfterMerge">
<MakeDir Directories="$(SourceWebPhysicalPath)\ImageCache" />
</Target>