Нашел ответы и теперь работает нормально. Решение: Использовал 2D массив вместо списка.
object[,] values = new object[5,4];
// row, column on worksheet
values[0, 0] = 11;
values[0, 1] = 12;
values[0, 2] = 13;
values[1, 0] = 21;
values[1, 1] = 22;
values[1, 2] = 23;
values[2, 0] = 31;
values[2, 1] = 32;
values[2, 2] = 32;
values[3, 0] = 41;
values[3, 1] = 42;
values[3, 2] = 42;
values[4, 0] = 51;
values[4, 1] = 52;
values[4,2] = 52;
range.set_Value(Microsoft.Office.Interop.Excel.XlRangeValueDataType.xlRangeValueDefault, values);