Просто используйте операторы AND, чтобы добавить необходимые условия.
Пример, если вы ищете конкретную c "Единицу":
//Unit[_unit_type='FSP' AND contains(.,'S')][starts-with(_logicalid,'FSM1') AND contains(.,'FSP1')]
Вы также можете использовать " |» работать с несколькими XPath. Xpath1 | Xpath2 | Xpath3 | ... Если вы ищете что-то отличное от Unit:
//Unit[_unit_type='FSP'][starts-with(_logicalid,'FSM1')]|//Entity[_unit_type='XYZ'][starts-with(_logicalid,'FSM1')]