Нужно использовать без кавычек:
bindkey -b M-^? backward-delete-word
Почему это? Поскольку t csh использует старый ad-ho c парсер 70-х годов с длинным списком исключений и неожиданного поведения, подобного этому. Процитируем оригинального автора Билла Джоя: «Я действительно не знал, что я делал в то время» ? Это действительно хороший пример того, почему люди обычно советуют избегать (t) csh, если можете.