Если у вас несколько ядер, оно может превысить 100, это сумма использования процессора для каждого процессора (ядра или виртуального ядра), поэтому более 100 - это нормально (100*numberOfCores
- это nax) ,
Используйте версию счетчика Process(w3wp_Total)
, если вы хотите, чтобы общий% ЦП составлял 100%.