Точно такая же проблема возникает сейчас в Firefox 4.
Решение заключается в загрузке шаблона из внешнего файла.
var template = jQuery.createTemplateURL("/path/test_tmpl.txt");
$("#result").setTemplate(template);
$("#result").processTemplate(data);
test_tmpl.txt например,
<table>
{#foreach $T.users as row}
<tr>
<td><textarea>{$T.row.id}</textarea></td>
<td>{$T.row.name}</td>
<td>{$T.row.age}</td>
</tr>
{#/for}
</table>
Протестировано с jTemplates 0.7.8, jQ 1.4.2