Если это существующий файл, то есть не тот, который вы только что создали, не просто:
File.SetAttributes(path, FileAttributes.Hidden);
или некоторые другие атрибуты, которые могут быть у него, будут потеряны, поэтому вам следует:
File.SetAttributes(path, File.GetAttributes(path) | FileAttributes.Hidden);