Вы можете попытаться избежать их: Result = System.Text.RegularExpressions.Regex.Replace(InputTxt, @"[\000\010\011\012\015\032\042\047\134\140]", "\\$0");
РЕДАКТИРОВАТЬ: извините, не понял, что вы используете Delphi.Я уверен, что теория все еще применима, даже если код не работает.