Используйте WMI для получения такого рода информации, хорошо поддерживаемой пространством имен System.Management. Начните с загрузки WMI Code Creator , она позволяет вам экспериментировать с запросами и может автоматически генерировать C #, который вам понадобится.
Вы хотите запросить Win32_Process, он предоставляет много информации о процессе. PrivatePageCount будет хорошим показателем количества используемой памяти, которое не используется другими процессами. KernelModeTime и UserModeTime дают вам время, потраченное на выполнение кода.