Предполагая, что мы находимся в корне документа:
RewriteRule ^cars/([a-zA-Z0-9]+)$ cars.php?model=$1 [L,QSA]
RewriteRule ^cars/([a-zA-Z0-9]+)/([a-zA-Z0-9]+)$ cars.php?model=$1&make=$2 [L,QSA]
RewriteRule ^cars/([a-zA-Z0-9]+)/([a-zA-Z0-9]+)/(\d+)$ cars.php?model=$1&make=$2&year=$3 [L,QSA]
Это обеспечивает строгий порядок, то есть ожидается, что аргументы будут "model", "make" и "year" в этом порядке.
Вы, вероятно, также хотите добавить:
RewriteRule ^cars/?$ cars.php