Вы также можете создать Guid
и сделать из него имя файла. Гарантированно уникальный и быстрый.
GetTempFile работает очень медленно, потому что ему приходится искать свободные имена файлов. Он просто создает префикс и добавляет к нему номер. Если файл с таким именем уже существует, пропускает это имя. Эта проверка требует времени, если ваша временная папка заполнена.
Также невозможно указать, в какой папке должен создаваться временный файл. GetTempFile всегда создает временный файл в разделе Windows. Если вы создаете большие временные файлы, вы хотите указать, где они должны храниться.