Вы захотите посмотреть на чтение информации из счетчиков производительности системы, в зависимости от того, что вы ищете, есть несколько счетчиков, которые вы можете использовать.
В этой статье MSDN показаны все счетчики производительности IIS6, аналогичные для IIS7, которые вы должны найти.
Что касается использования процессора, есть несколько способов сделать это. В зависимости от того, требуется ли вам общее использование ЦП или загрузка ЦП для каждого процесса.
Также вот учебник по чтению со счетчика процесса.