Если вам нужен только четкий пунктирный путь, и вы можете получить желаемый результат, объявив RenderOptions.EdgeMode в качестве псевдонима, чтобы не допустить интерполяции каркасом контура пути, когда черта падает между границами пикселей:*
<Path Data="M0,0 L 12 0 L 12 12 L 0 12 Z M 6 0 L 6 12 M 0 6 L 12 6" StrokeDashArray="1 1" Stroke="Black" StrokeThickness="1" RenderOptions.EdgeMode="Aliased">
</Path>