На работе я использовал Performance Monitor от Hexagora (его бесплатное программное обеспечение) - не знаю, можете ли вы записать результат, поскольку я когда-либо использовал только графические изображения.
Я также использовал монитор производительности Windows, выводя файлы .csv (как вы делаете), но если вы собираете много данных, я нахожу это очень грязным.
Руководство по лучшей практике при мониторинге производительности от Microsoft: здесь . Я часто использую это как руководство, надеюсь, это полезно.