Создать / присоединить к процессу, а затем либо использовать WaitForExit()
для блокировки до его выхода, либо использовать событие OnExited
, если вы не хотите, чтобы приложение блокировалось, пока оно ожидает его выхода.
От всей души рекомендую ознакомиться с документацией для Process
- прямо здесь