Если объект ActiveX появляется в диспетчере задач как отдельный процесс, то это должен быть COM-сервер вне процесса, не размещенный в потоке в вашем приложении.
Я могу вспомнить две очевидные причины, по которым сервер все еще будет работать после того, как ваш клиент выпустит свой экземпляр:
- Что-то еще содержит ссылку (либо ваш процесс, либо другой)
- Сервер был реализован неправильно и не завершает работу после освобождения всех ссылок