короче и без isFileExists или попробуйте catch:
var file = Components.classes["@mozilla.org/file/local;1"].
createInstance(Components.interfaces.nsILocalFile);
file.initWithPath(path);
var oProcess = Components.classes["@mozilla.org/process/util;1"].
createInstance(Components.interfaces.nsIProcess);
oProcess.init(file);
var args = null;
var argsLen = 0;
if (params) {
args = [params];
argsLen = 1;
}
oProcess.run(false, args, argsLen);
надеюсь, это поможет.