без информации об исходном файле, это может быть только дикое предположение, но что-то , например:
<xsl:stylesheet version="1.0" xmlns:xsl="http://www.w3.org/1999/XSL/Transform">
<xsl:key name="mon" match="Column[substring(@name, 4, 1) = '_']" use="concat(parent::*/@rowNum, substring(@name, 1, 3))"/>
<xsl:output method="text"/>
<xsl:template match="DataSet/*">
<xsl:text> </xsl:text>
</xsl:template>
<xsl:template match="DataSet">
<xsl:for-each select="*/Column[generate-id() = generate-id(key('mon', concat(parent::*/@rowNum, substring(@name, 1, 3)))[1])]">
<xsl:value-of select="name(parent::*)"/>
<xsl:text>, </xsl:text>
<xsl:value-of select="position()"/>
<xsl:text>, </xsl:text>
<xsl:value-of select="@name"/>
<xsl:text>, </xsl:text>
<xsl:value-of select="parent::*/Column[not(substring(@name, 4, 1) = '_')]"/>
<xsl:text>, </xsl:text>
<xsl:value-of select="key('mon', concat(parent::*/@rowNum, substring(@name, 1, 3)))"/>
</xsl:for-each>
</xsl:template>
</xsl:stylesheet>