RCW для COM-компонента - это просто управляемый класс.Любой полуприличный .NET профилировщик памяти покажет вам все, на которые ссылаются непреднамеренно.Если сам COM-сервер протекает, вам понадобится тот, который может отслеживать неуправляемую память.Это неизменно требует наличия исходного кода для сервера, чтобы вы могли выяснить, что именно просочилось.И чтобы действительно что-то с этим сделать.
Уже есть много вопросов о профилировщиках памяти .NETВведите «.NET memory profiler» в поле поиска в верхнем правом углу.