У этого файла должен быть полный путь к файлу и имя файла, попытка запустить папку приведет к этой ошибке.
string path = "C:\\test.exe";
proc.StartInfo.FileName = path;
Также есть ли у приложения права администратора?
Редактировать: если это пакетный файл, он должен иметь расширение .bat, такое как "batch.bat", чтобы работать правильно. Кроме того, если это командный файл, он не может быть пустым, иначе возникнет исключение.