Параметр «Путь к исполняемому файлу» в мастере выше - это исполняемый файл, используемый для запуска. В этом случае текст в мастере немного вводит в заблуждение, поскольку, хотя библиотека DLL размещена в w3wp.exe, путь к исполняемому файлу должен быть для Internet Explorer (iexplore.exe).
Обратите внимание, что вам может понадобиться добавить шаг после инструмента для повторной подписи вашего веб-сервиса, так как процесс инструментария изменяет двоичный файл, и он может больше не загружаться правильно, если он был подписан. См. MSDN для получения дополнительной информации.
Как отмечает Луи, для присоединения к запущенному процессу есть опция присоединения, но, к сожалению, она доступна только для режима выборки.
Кстати, вы найдете много дополнительной информации и советов по профилированию VS2010 в нашем блоге профилирования