Изменился ли ваш .NET COM интерфейс? Если это так, вам нужно будет повторно выполнить восстановление .NET dll, чтобы соответствующим образом обновить реестр COM.
Кроме того, если вы обновите версию .NET dll новыми сборками, вам нужно убедиться, что у вас не зарегистрированы конфликтующие версии. Попробуйте поискать в реестре имя вашей dll и удалить все ключи в HKCR. Затем попробуйте повторно восстановить ваш .NET dll.
Наконец, я видел эту ошибку, когда конструктор (или статический конструктор) в .NET генерирует исключение во время создания вашего объекта .NET. Добавьте некоторую трассировку и обработку ошибок, чтобы убедиться, что это не так.