Для приложений и хостов WCF создано множество счетчиков производительности. IIS (если используется в качестве хоста) также имеет несколько.
Вы должны быть в состоянии найти один или несколько, которые соответствуют вашим ожиданиям. Если нет, то вы можете создать свой собственный счетчик производительности в своих сервисах.