Я нашел это Страница , я пробую и отлично работаю.
Для создания одного файла используйте
fsutil file createnew filename filesize
Для создания большого количества файлов используйте
For /L %i in (1,1,25000) do fsutil file createnew A%i.tmp 12288
создаст 25 000 файлов размером 12288 байт (12 КБ) с именами A1.tmp, A2.tmp, A3, tmp…