Если это одномерные массивы, вы, вероятно, хотите что-то вроде этого:
struct MyStruct
{
public byte[] rcSource;
public byte[] rcMask;
public uint[] clientAuthSchemes;
}
Инициализация:
MyStruct st;
st.rcSource = new byte[width*height];
st.rcMask = new byte[width*height];
st.clientAuthSchemes = new uint[size+1];