Закончилось делать что-то вроде этого.Может быть, это может быть полезно для некоторых из вас, поэтому я опубликовал это
<DataGridTemplateColumn MinWidth="180" >
<DataGridTemplateColumn.Header>
<Grid>
<Grid.RowDefinitions>
<RowDefinition/>
<RowDefinition/>
</Grid.RowDefinitions>
<Grid.ColumnDefinitions>
<ColumnDefinition/>
<ColumnDefinition/>
<ColumnDefinition/>
</Grid.ColumnDefinitions>
<TextBlock Grid.ColumnSpan="3" HorizontalAlignment="Center" Text="Loc 1"/>
<TextBlock Grid.Column="0" Grid.Row="1" Text="Received" Width="60" TextAlignment="Center"/>
<TextBlock Grid.Column="1" Grid.Row="1" Text="Sent" Width="60" TextAlignment="Center"/>
<TextBlock Grid.Column="2" Grid.Row="1" Text="Defect" Width="60" TextAlignment="Center"/>
</Grid>
</DataGridTemplateColumn.Header>
<DataGridTemplateColumn.CellTemplate>
<DataTemplate>
<Grid>
<Grid.ColumnDefinitions>
<ColumnDefinition/>
<ColumnDefinition/>
<ColumnDefinition/>
</Grid.ColumnDefinitions>
<TextBlock Grid.Column="0" Text="{Binding Path=Loc01_10}" MinWidth="60" TextAlignment="Right" />
<TextBlock Grid.Column="1" Text="{Binding Path=Loc01_20}" MinWidth="60" TextAlignment="Right" />
<TextBlock Grid.Column="2" Text="{Binding Path=Loc01_40}" MinWidth="60" TextAlignment="Right" />
</Grid>
</DataTemplate>
</DataGridTemplateColumn.CellTemplate>
</DataGridTemplateColumn>