Вы полностью создаете файл xls или копируете и заполняете файл шаблона xls?Неправильный формат файла шаблона может вызвать проблему.
Кроме того, какой поставщик вы используете для заполнения вашего файла?- Microsoft.ACE.OLEDB.12.0 для xlsx / xlsm?- Microsoft.Jet.OLEDB.4.0 для xls?
Неправильная комбинация провайдер / расширение может вызвать проблему.
Согласно вашему комментарию, здесь есть часть кода, где я это сделалв прошлом: (прокомментировал некоторые строки, поскольку я не помню, почему они были полезны)
Response.Clear();
Response.ContentType = "application/vnd.ms-excel";
//Response.ContentEncoding = Encoding.Default;
//Response.Charset="";
Response.AddHeader("Content-Disposition: ",
String.Format(@"attachment; filename={0}",myfileName));
//EnableViewState = false;
Response.Write(myFileContentAsString);
Response.Flush();
Response.Close();