стараться не включать в конец строки:
=FILTER({{Source!A1:F}, {Source!R1:R}, {Processed!T1:T}}, Source!Q1:Q=W2)
если это не вариант, вы можете попытаться заморозить его:
=FILTER({{INDIRECT("Source!A1:F115")}, {INDIRECT("Source!R1:R115")},
{INDIRECT("Processed!T1:T115")}}, Source!Q1:Q115=W2)
или вы можете попробовать что-нибудь сумасшедшее, например:
=FILTER({{Source!A1:F115}, {Source!R1:R115}, {Processed!T1:T115}},
INDIRECT("Source!Q1:Q"&COUNTA(Source!R1:R))=W2)