Я подозреваю, что причина сбоя deleteOnExit
заключается в том, что в вашем приложении все еще открыты файлы, когда оно закрывается.Это приведет к сбою удаления в Windows из-за длительной блокировки файлов.
Решение состоит в том, чтобы закрыть все потоки для ваших временных файлов перед выходом.