Странно. Вы проверили, что папка существует, и разрешения на нее? Вы можете попытаться временно предоставить всем право на запись в папку, чтобы посмотреть, поможет ли это.
Также убедитесь, что диск не переполнен, или папка с именами файлов, сгенерированными GetTempFile () - не знаете, что делать, если генерируется случайное имя файла, которое уже существует.